卓驰(江苏)节能技术有限公司

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螺杆式干式真空泵的特点&应用


螺杆式干式真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。TAIKO运用高度技术力量开发出具有独创形状(Queen  Bee  Screw)的螺杆式干式真空泵,实现世界上最低速运转。 实现了极限真空10–1Pa这一惊奇的高性能。

螺杆式干式真空泵特征


一、世界第一的低转速

独创的螺杆形状(Queen Bee Screw)实现了螺杆式干式真空泵惊人的低转速(3600min-1/60Hz,3000min-1/50Hz)运转。低速旋转具有以下优点。

①延长轴承,轴封,正时齿轮等的使用寿命②降低噪音③降低震动所以可以获得稳定的性能。

二、良好的排出固形物能性

可顺利地排出冷凝液、灰尘等,不会滞留在泵内。绝热压缩产生的热能可用于高温排气,所以适用于容易凝固的气体排气。

三、结构简单

零部件少,结构非常简单,所以拆卸、组装方便。

四、能够满足10–1Pa极限真空度要求

能获得10–1Pa极限压力大关,从大气压到极限压力。可连续工作。

五、抗腐蚀性气体

标准机型的与气体接触部使用特殊涂层,具备良好的耐腐蚀性。由于使用寿命长,所以转子,泵壳等基本不用更换。长期可以维持良好的性能。本公司还有特殊材料规格的泵,可用于处理HF(氟)。

六、操作性良好的泵控制器

拥有各种保护功能,可与所有装备连接,操作性良好的控制器是标准设备。

七、干式真空泵专用高性能机械增压器

为了减轻产品重量,使用生产出完全干真空状态的机械增压器。通过本公司的产品机型组合,强力支持干式真空泵。另外,通过装备跳频器可顺利地进行大气压驱动。

螺杆式干式真空泵的应用

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广泛。具体如下:

具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。

纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。

一类是以半导体行业为代表,要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气,只抽干空气或含少许水蒸汽的空气;中等条件下的抽气,抽除工艺过程的反应气体,但无固体颗粒物;恶劣条件下的抽气,抽除化学反应物(有毒甚至致癌)及固体颗粒物。

另一类是以石化行业为代表,要求真空泵能大量抽除可凝性气体,或腐蚀性气体,或有毒气体,或含有微尘的气体。螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等


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