卓驰(江苏)节能技术有限公司

Zhuo Chi(Jiangsu)Energy-saving Technology co., Ltd.

我们的整体解决方案使低成本治理废气和高标准排放成为可能
Our integrated solutions make it possible to treat emissions at low cost and at high standards.
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With the excellent design team
and excellent production equipment, to provide excellent products
and value-added services to customers

Overall solution for VOCs and waste liquid recovery and treatment

Safe、Efficient、low investment、High return

VOCs、废液回收治理整体解决方案
安全 专业 低投入 高回报

螺杆干式真空解决方案
PRODUCT CENTER



适用于排液或粉尘较少的工艺


产品详情说明:

TAIKO螺杆式干式真空泵,是采用自主研发螺杆线性的干式真空泵,它低速转动连续排气,真空度可达到10-1Pa,它可称为是划时代的干式真空泵。实现了极限真空度的**最低泵浦转速.从吸气起到排气采用非接触单段压缩,其特点是可以高效地排除空气或煤气中所含有的粉尘雾粒,广泛用于半导体,液晶,太阳能电池,医药,化工等真空行业。单级结构简单,易于保养和维修,在排除凝聚性气体,腐蚀性气体和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。


各系列螺杆式真空泵:

NO.

名称

抽速(L/Min

极限压力Pa

用途

1

SDV系列

500-11500

10

一般产业机器

2

SDF系列

500-850

30

一般产业机器

3

MDP/SLT系列

1100-35000

0.7

化学工序

4

BEH系列

7000-30000

0.08

半导体液晶工序

5

TDP系列

1000-9000

0.13

半导体液晶工序

6

TD系列

650-3000

0.7

半导体液晶工序

7

TDA系列

150-700

1

物理、化学机器





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